Техническое задание предполагает разработку установки, способной обрабатывать пластины диаметром 100, 150 и 200 мм. Система должна функционировать в полностью автономном режиме, поддерживая работу с восемью видами химических реагентов и очищенной водой. За один цикл аппарат обязан обрабатывать не менее 100 пластин, что должно существенно ускорить производственный цикл на отечественных предприятиях.

Ключевое требование к подрядчику — локализация производства. Основные узлы установки должны быть изготовлены в России, а использование зарубежных комплектующих требует обязательного согласования с министерством. Контракт рассчитан на длительный срок: все работы по проектированию и запуску оборудования должны быть завершены до 30 ноября 2029 года. Победитель тендера уже определен, однако его имя пока не раскрывается в системе госзакупок.